SPV-24M微波在线片式真空等离子清洗机 | RFQ Sourcing Details

离心泵 · Quote on request

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Product specs

Category泵阀采购网

Brandsindin.com

Unitset

容积约24L

真空泵干泵

微波电源双微波电源2000W

气路配置标配氧气、氩气两路工艺气体（可定制CF4气体）

系统控制工控系统

Category离心泵

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Updated2026-05-27

Buyer's Digest

Use this page as a product-first sourcing checkpoint before sending an RFQ. Category: 离心泵. Confirm application fit, capacity, materials, destination, lead time and compliance requirements before comparing suppliers.

Original product description

首页 / 产品中心 / 微波等离子清洗机 / SPV-24M SPV-24M微波在线片式真空等离子清洗机产品对比下载产品手册.pdf 下载产品概述规格参数硬件选配 SPV-24M 微波在线片式真空等离子清洗机是一款针对半导体行业设计的MW PLASMA处理及性能检测整体解决方案的设备，是实现清洁、活化、除胶、刻蚀功效的理想选择。工作原理微波等离子清洗是用等离子体通过化学或物理作用对工件表面进行分子水平处理，去除沾污，改善表面性能的工艺过程。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺。当腔内压力为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氩气、氧气、氮气、氢气等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学氧化还原反应。微波等离子清洗机的结构主要分为四大组成部分：控制系统、真空腔体、工艺气体系统、金属空心导管。行业专用方案半导体行业应用芯片粘接前处理：去除材料表面污染物，增加表面润湿性能，提升胶体流动性，保证与其他材料的结合能⼒。塑封前处理：去除材料表面污染物，使芯片表面与塑封材料结合牢固，减少分层与气泡等不良的产⽣。金属键合前处理：去除金属焊盘上的有机污染物，提高焊接工艺的强度和可靠性。光刻胶去除：去除残留的光刻胶及其他有机物，活化和粗化晶圆表⾯，提⾼晶圆表⾯润湿性能。设备视频产品优势兼容性强轨道间距可调，兼容性强，兼容产品长80-280mm×宽25-90mm 轨道间距可调，兼容性强，兼容产品长80-280mm×宽25-90mm 01 故障率低等离子体不带电，不会对精密电路造成损害等离子体不带电，不会对精密电路造成损害 02 提升产能四道同时上料，提升产能四道同时上料，提升产能 03 清洗效果好电离度高，等离子密度大，清洗效果较好电离度高，等离子密度大，清洗效果较好 04 安全性高高压源和发生器互相隔离，安全性高高压源和发生器互相隔离，安全性高 05 采⽤磁约束的⽅式采用磁约束的方式，微波结和磁路可以兼容采用磁约束的方式，微波结和磁路可以兼容 06 应用案例微波等离子在半导体行业应用半导体微波等离子处理机的优势及效果产品推荐 SPMV-100H腔体式微波真空等离子清洗机自由基分子的等离子体无偏压，不会对产品有电性损坏，去胶速率高 SPV-12Z在线片式真空等离子清洗机半导体行业专用RF在线片式真空清洗机，PLASMA处理在线片式等离子处理系统 SPV-100真空等离子清洗机超低处理温度45℃，不造成热影响，确保稳定的处理效果设备参数设备尺寸 2308*1360*2064mm（长*宽*高）微波电源双微波电源2000W 容积约24L 清洗产品范围 80-280mm*25-90mm（长*宽）料盒尺寸范围 180-290mm*28-93mm*200mm（长*宽*高）真空泵干泵气路配置标配氧气、氩气两路工艺气体（可定制CF4气体）系统控制工控系统配件类型 TOP

SPV-24M微波在线片式真空等离子清洗机 | 应用场景与采购要点

SPV-24M微波在线片式真空等离子属于“离心泵”相关信息，页面会把名称、分类、参数、地区和询价线索整理成便于采购判断的结构。采购时建议重点关注用途场景、规格型号、数量区间、质检要求和交期。原始描述较短，以下内容仅做结构化归纳，不搬运外部全文

适用场景

用于同类产品或企业的第一轮采购筛选
适合在批量采购前核对规格、用途和交付条件
可作为分类页、关键词页和详情页之间的补充判断入口

关键规格

1: Brand, sindin.com以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。
2: Unit, set以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。
3: 容积, 约24L以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。
4: 真空泵, 干泵以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。
5: 微波电源, 双微波电源2000W以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。
6: 气路配置, 标配氧气、氩气两路工艺气体（可定制CF4气体）以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。
7: 系统控制, 工控系统以页面公开参数为准，询价时可补充更细规格。

采购提示

报价前先写清数量区间和是否需要分批交付。
涉及认证、材质或质检时，把验收标准写进询价。
对交期敏感的项目，应说明目标到货时间和地区。
如果用途特殊，补充工况、安装环境和使用频率。

常见问题

采购SPV-24M微波在线片式真时应该先确认什么？

先确认用途、规格、数量、交付地区和交期，再比较价格或供应商匹配度。

页面参数不完整还能发询价吗？

可以，但询价内容应补充型号、材质、尺寸、应用场景和质检要求，避免收到不可比报价。

如何判断这条信息是否适合继续沟通？

看标题、分类、主营方向、参数和相关关键词是否与采购需求一致，不一致时返回分类或关键词页继续筛选。

Key specifications

Category泵阀采购网

Brandsindin.com

Unitset

容积约24L

真空泵干泵

微波电源双微波电源2000W

气路配置标配氧气、氩气两路工艺气体（可定制CF4气体）

系统控制工控系统

设备尺寸2308*1360*2064mm（长*宽*高）

料盒尺寸范围180-290mm*28-93mm*200mm

清洗产品范围80-280mm*25-90mm

Product sourcing keywords

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