SPV-100真空等离子清洗机 | RFQ Sourcing Details

首页 / 产品中心 / 真空等离子清洗机 / SPV-100 SPV-100真空等离子清洗机 产品对比 下载 产品手册.pdf 下载 产品特点 军工级的焊接工艺，腔体密封性强，高密度等离子源，保证全方位均匀清洗；一键启动，精确控制试验时间、真空度、功率等重要参数；45℃超低清洗温度，不造成热影响，确保稳定的处理效果；双路或多路工艺气体，气体控制稳定；单次可处理多片/批次材料，更可根据材料、产能进行定制；产品概述 规格参数 硬件选配 SPV-100 真空等离子清洗机 适用于批量生产及科学研究，广泛应用于芯片、摄像头模组、PCB、FPC、晶元等产品表面处理，有效去除表面油性污垢和有机污染物粒子，提高表面粘接，涂覆的可靠性和持久性，提升封装稳定性。工作原理 等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为等离子体。等离子体的“活性”组成包括：离子、电子、原子、活性基因等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。真空等离子清洗机的结构主要分为五大组成部分：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、真空泵系统。（A）控制系统： 控制系统作用在于控制整个真空等离子清洗设备的运行，以及整体系统的保护。（B）激励电源系统： 等离子体的产生需要高压激励，真空等离子采用射频电源（0-1000W）或中频电源（0-2000W）进行激励，射频电源频率13.56MHz，中频电源频率40KHz。参数根据样品实际情况可进行调节，可达到的改性效果。（C）真空腔体： 真空腔体主要分为三种材质：①不锈钢真空腔体 ②石英腔体 ③高强度铝合金腔体 电极板放置方式：①平板水平电极式 ②平板垂直电极式 根据不同行业与应用领域选择腔体材质和电极板放置方式。（D）工艺气体系统： 标配两路工艺气体，根据清洗材质的不同，可分别选用氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳气体。（E）真空泵系统： 真空泵组主要分为三种：①油泵 ②罗茨泵 ③干泵 抽真空速度是决定一台真空等离子清洗机工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取决于真空泵。根据测量样品的真空度要求和体积要求来配置真空泵组。行业应用 行业专用方案，增加盖板表面活性，提高表面镀膜附着力，增加镀膜寿命。显示屏： 粘结前等离子清洗，去除表面油性污垢和有机污染物粒子，提高表面活性。TP/中框： 粘接前等离子清洗，增加表面附着力，提升粘胶质量。设备视频 产品优势 可适应不同尺寸 可定制不同晶圆尺寸的托盘，产品放置治具灵活多变 可定制不同晶圆尺寸的托盘，产品放置治具灵活多变 01 电极空间扩展 该设备最多支持放置扩展至8片电极，每片电极片均为独立空间，水平布置以及可活动抽取。该设备最多支持放置扩展至8片电极，每片电极片均为独立空间，水平布置以及可活动抽取。02 密封性卓越的真空腔体设计 军工级的焊接工艺，腔体密封性强，大容量铝合金腔体，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。军工级的焊接工艺，腔体密封性强，大容量铝合金腔体，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。03 智能化程序化控制 PLC+7寸液晶触摸显示屏控制系统，一键启动，操作简单，可设置多种实验参数，精确控制试验时间、真空度、功率等重要参数。PLC+7寸液晶触摸显示屏控制系统，一键启动，操作简单，可设置多种实验参数，精确控制试验时间、真空度、功率等重要参数。04 超低清洗温度 真空腔体由铝合金材质制造，经过真空度检漏测试，处理温度低于45℃，保压性能优异，可满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。真空腔体由铝合金材质制造，经过真空度检漏测试，处理温度低于45℃，保压性能优异，可满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。05 专利放电技术 电极有孔设计，可以使等离子体的浓度和强度增加，设备处理样品更高效，独有专利放电技术，特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。电极有孔设计，可以使等离子体的浓度和强度增加，设备处理样品更高效，独有专利放电技术，特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。06 一键安全保障 一键急停保护按钮，可以快速终止运行，以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。一键急停保护按钮，可以快速终止运行，以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。07 多路气体控制 高精度气体流量监测系统，针对不同的产品，通入不同反应气体，双路或多路工艺气体，适用清洗各种复杂形状的产品，全方位均匀清洗。高精度气体流量监测系统，针对不同的产品，通入不同反应气体，双路或多路工艺气体，适用清洗各种复杂形状的产品，全方位均匀清洗。08 多种配件搭配 多种电源、腔体、泵组供选择，自由搭配，最贴心的定制服务。多种电源、腔体、泵组供选择，自由搭配，最贴心的定制服务。09 自动化定制方案 经过专业研发团队对产品部件筛选，选出适合和优质的部件，确保设备性能优越和长时间稳定的运行，同时可根据需求定制自动化方案，保养维修成本低，便于成本控制。经过专业研发团队对产品部件筛选，选出适合和优质的部件，确保设备性能优越和长时间稳定的运行，同时可根据需求定制自动化方案，保养维修成本低，便于成本控制。010 应用案例 Mini LED点胶前等离子清洗 PCB钻孔除胶等离子清洗、形状复杂的材料进行表面改性处理，是实现清洁、改性、刻蚀功效的理想选择 SPV-150真空等离子清洗机 军工级焊接工艺，真空腔体密封性强，高密度等离子源，全方位均匀清洗 SPV-200真空等离子清洗机 可定制流水线自动化方案，低气体用量，稳定性强，减少人力及使用成本 SPK-800S宽幅射频等离子清洗机 国内首台800mm超长处理宽度，单位面积处理时间提升3倍 外观参数 外形尺寸 900*1750*1000mm（宽*高*深） 重量 500KG 设备外观颜色 银灰色 电源系统 射频电源 功率：0~600W 频率：13.56MHz 中频电源 功率：0~2000W 频率：40KHz 真空系统 腔体内部尺寸 450*450*500mm（宽*高*深） 厚度 25mm 材质 铝合金（可定制不锈钢腔体） 密封性 军工级焊接密封 电极板有效尺寸 322*351mm（宽*深） 可用空间间距 22.5mm 工作空间 8层 工作托盘 标配一套，材质可选配（铝材、钢丝网） 电极板布置方式 水平布置，可活动抽取 双级旋片泵（油泵） 60m 3 /h 真空管路 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 气体系统 流量范围 0~300SCCM 工艺气体气路 标配气路，可定制 控制系统 系统控制 PLC 交互方式 7寸触控屏幕 配件类型 国产中频电源 国产射频电源 进口中频电源 进口射频电源 横电极腔体 竖电极腔体 泵组 油泵 罗茨泵 干泵 晟鼎自主研发—国产中频电源 频率40KHz,功率2000W 晟鼎专属定制—国产射频电源 频率13.56MHz，功率0~1000W 美国CERES—进口射频电源 频率13.56MHz，功率0~600W或0~1000W可选 进口中频电源 频率40KHz，功率2000W 横电极腔体 应用于芯片、摄像头模组、PCB/FPC、晶圆等产品表面处理 竖电极腔体 应用于LED行业，适用于各种类型产品治具或结构 泵组 油泵 罗茨泵 干泵 TOP